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再 議 P F A S
PFAS是一系列的合成有機(jī)氟化物總稱，其在全球多個(gè)行業(yè)如芯片制造、滅火劑、油漆、防水劑等獲得了廣泛應(yīng)用，但PFAS生產(chǎn)和使用環(huán)節(jié)所帶來的環(huán)境威脅引發(fā)了環(huán)保組織及政策制定者的關(guān)注。經(jīng)證實(shí)，PFAS會(huì)增加生殖系統(tǒng)和內(nèi)分泌系統(tǒng)病變的風(fēng)險(xiǎn)，甚至可能會(huì)誘發(fā)人和動(dòng)物的癌癥及其他生殖疾病。
2022年12月20日，3M公司宣布將于2025年年底停產(chǎn)58種全氟烷基和全氟烷基物質(zhì)（Por-and Polyfluoroalkyl substances,PFAS）產(chǎn)品，以減少或消除PFAS對(duì)氣候環(huán)境和生態(tài)健康的影響。
PFAS業(yè)已成為半導(dǎo)體制造工藝不可或缺的一部分，它具有高耐久性、熱穩(wěn)定性、耐腐蝕性、非粘附性和低介電常數(shù)，可用于制造先進(jìn)計(jì)算芯片所需的極其復(fù)雜的工藝。然而，由于PFAS在環(huán)境中具有持久性，并且具有潛在健康風(fēng)險(xiǎn)，人們開始呼吁限制其在半導(dǎo)體行業(yè)的使用，這就提出了一個(gè)關(guān)鍵問題——PFAS在半導(dǎo)體領(lǐng)域的使用是否應(yīng)該受到限制？
PFAS在半導(dǎo)體制造中的優(yōu)勢(shì)
PFAS在半導(dǎo)體制造中起著至關(guān)重要的作用，特別是在光刻方面。在光刻過程中，硅晶圓上的PFAS增強(qiáng)型光刻膠可提高紫外光照射期間的附著力、耐久性和對(duì)惡劣條件的抵抗力，從而保護(hù)暴露區(qū)域在蝕刻或沉積過程中進(jìn)行選擇性改性。
PFAS會(huì)帶來的環(huán)境及健康問題
盡管PFAS在先進(jìn)的芯片生產(chǎn)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，但由于其持久性，它們會(huì)帶來環(huán)境和健康問題。
PFAS在正常條件下分解非常緩慢，這是由于附著在碳主鏈上的多個(gè)氟原子的屏蔽作用。PFAS在魚類和野生動(dòng)物中生物積累，長期接觸這些持久性化合物可能會(huì)人類健康和生態(tài)環(huán)境帶來威脅。
PFAS在正常條件下分解非常緩慢，這是由于附著在碳主鏈上的多個(gè)氟原子的屏蔽作用。PFAS在魚類和野生動(dòng)物中生物積累，長期接觸這些持久性化合物可能會(huì)人類健康和生態(tài)環(huán)境帶來威脅。
雖然因果關(guān)系尚未完全確定，但PFAS的終生生物蓄積性，加上可能產(chǎn)生不利影響的證據(jù)，導(dǎo)致美國環(huán)保署等許多健康和環(huán)境機(jī)構(gòu)建議盡量減少人類和環(huán)境對(duì)PFAS的暴露。
PFAS關(guān)聯(lián)的現(xiàn)行法規(guī)
《關(guān)于持久性有機(jī)污染物的斯德哥爾摩公約》將PFAS視為持久性有機(jī)污染物，限制了某些類型，而歐盟的REACH法規(guī)、REACH法規(guī)之附錄XVII、POPs則對(duì)化學(xué)品的生產(chǎn)和使用進(jìn)行了監(jiān)管。
在中國，國家生態(tài)環(huán)境部于今年發(fā)布了《重點(diǎn)管控新污染物清單（2023年版）》、《中國消耗臭氧層物質(zhì)替代品推薦名錄》，《2024年度氫氟碳化物配額總量設(shè)定與分配方案》，目的是為切實(shí)履行《蒙特利爾議定書》，加快推動(dòng)含氫氯氟烴物質(zhì)的淘汰。同時(shí)，也更新一些國家標(biāo)準(zhǔn)，如《GB 5749-2022 生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》，其附錄A有對(duì)水質(zhì)中全氟化合物的管控要求，分別是全氟辛酸（限值0.00008mg/L）和全氟辛烷磺酸（限值0.00004mg/L），已于今年4月1日起施行。
在美國，EPA PFAS戰(zhàn)略路線圖中概述的聯(lián)邦規(guī)則包括《有毒物質(zhì)控制法》（TSCA）和《重大新用途規(guī)則》（SNUR）等措施，重點(diǎn)關(guān)注新化學(xué)品、報(bào)告要求和排放許可證。美國各州層面的法規(guī)各不相同，一些州禁止不必要的PFAS使用。
全球已努力遏制有害PFAS的暴露，國際機(jī)構(gòu)、個(gè)別國家和地方都采取了限制制造和減少PFAS暴露的措施。然而，缺乏一致的監(jiān)管結(jié)構(gòu)和對(duì)適當(dāng)監(jiān)管水平的不同意見帶來了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。
在過去十年中，PFAS的監(jiān)管格局逐漸發(fā)生了變化，關(guān)于逐步淘汰非必要PFAS用途的討論正在進(jìn)行中，歐洲化學(xué)品管理局（European Chemicals Agency）提出了全球禁令的可能性。
半導(dǎo)體行業(yè)強(qiáng)烈反對(duì)將PFAS全面限制納入制造用途
歐盟關(guān)于10,000種PFAS限制的提案
參考現(xiàn)行法規(guī)要求，如(EU)528/2012生物滅菌劑法規(guī)和(EC)1107/2009植物保護(hù)劑法規(guī)等。 提案要求，每2年向ECHA提交產(chǎn)品的相關(guān)信息
總 結(jié)
盡管PFAS對(duì)于當(dāng)前的半導(dǎo)體制造來說是無價(jià)的，但其持久性需要盡量減少非關(guān)鍵用途。然而，在不評(píng)估替代方案的情況下進(jìn)行大規(guī)模限制可能會(huì)破壞創(chuàng)新。謹(jǐn)慎的做法是暫時(shí)允許必要的PFAS應(yīng)用，同時(shí)支持開發(fā)更安全的替代品。
半導(dǎo)體行業(yè)還必須幫助加快開發(fā)可行、更環(huán)保的替代品。此外，政策制定應(yīng)平衡數(shù)字進(jìn)步和生態(tài)管理。為了實(shí)現(xiàn)可持續(xù)的數(shù)字未來，當(dāng)務(wù)之急是擺脫電子制造中對(duì)堅(jiān)不可摧化學(xué)品的無限期依賴，實(shí)施務(wù)實(shí)的解決方案，逐步淘汰非必要的PFAS使用，同時(shí)促進(jìn)持續(xù)創(chuàng)新。
正 在 做
